在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的很好的工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

爱德华EDWARDS真空泵主要型号：EDWARDS爱德华EM 系列 E1M5， E1M8， E1M12， E1M18， E1M30， E1M40， E1M80， E1M175， E1M275， E2M0.7， E2M1， E2M1.5， E2M2， E2M5， E2M8， E2M12， E2M18 ， E2M28， E2M30， E2M40， E2M80， E2M175， E2M275

EDWARDS爱德华RV 系列RV3， RV5， RV8， RV12

EDWARDS爱德华EH 系列 EH250， EH500， EH1200， EH2600， EH4200

EDWARDS爱德华QMB 系列 QMB-250， QMB500， QMB1200EDWARDS爱德华XDS5，XDS10，爱德华EH1200真空泵销售，XDS35EDWARDS爱德华PUMP GV80 GV160 GV250 GV400

动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。（1） 分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：① 牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。③ 复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。

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