进口分子泵维修

障现象:系统通电时，LED没有闪烁0.5秒检查:电源是否出现故障操作:确保电源已打开并且保险丝（及限流设备）未松开。故障现象:发送并行“启动”命令后泵不旋转检查:检查电源是否打开并且故障输出是否活动操作:如果有故障信号，应检查橙色状态LED是否闪烁。

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进口分子泵维修

特点：

连续抽除气体,节省能源,可获得清洁的真空

油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。

脂润滑分子泵：油脂量，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

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进口分子泵维修

是异物掉入：没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。电压的不稳定：这对对磁浮类的分子泵损伤较大。

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