氦质谱检漏仪的原理

运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其***部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，这就是质谱。

用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。测量气体分压力的所有质谱计，如四极质谱计、射频质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计等都可以用于检漏。

氦质谱检漏仪的检漏方法

中科鼎新真空科技（济南）有限公司——***氦质谱检漏仪供应商，我们为您带来以下信息。

•正压法

又称吸***检漏，将吸***接在仪器检漏口上，被检件充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例氦氮混合气）。检漏时，吸***沿可能泄漏处慢慢移动，被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸***吸入至仪器的质谱系统而被检测出。因为空气中含有5ppm的氦气，正压法检漏灵敏度相对负压法要低。

氦质谱检漏仪——检漏方法

随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，氦质谱检漏仪的方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。

氦质谱检漏方法 ( 以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将 设备完全抽成真空状态， 往往会增加测试用设备( 如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装 ( 如 外压加强圈)而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言，通常优先选用前一种方法。