氦质谱检漏仪的选择

选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：

（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合吸***法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的检漏仪。

（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。

（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。

（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。

（5）如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。

（6）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。

（7）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。

氦质谱检漏仪的检漏方法

•背压法

全密封件进行的气密性检测时采用背压法。检漏前用压氦罐向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦气；或者先在被检件前道工艺中向产品内部封入氦气。四、辅助真空系统的配置在氦质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。被检件放入检漏罐中，再将检漏罐连接到氦质谱检漏仪，对检漏罐抽真空检漏，被检件有漏孔存在，通过漏孔压入（或封入）被检件的氦气会泄漏出来进入检漏罐，被氦质谱检漏仪定量检测到。用这种方法测得的漏率是总漏率。

氦质谱检漏仪——检漏方法介绍

氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。

吸***与质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不低于0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内用吸***吮吸， 并应从焊缝底部至上而行。

管板等焊缝较多或检测面积较大时，可将该部分用塑料薄膜完全罩住并用胶带封住，以使 泄漏的氦气进入罩中如图2所示。设备备保压30分钟后，用扫描率不大于25mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3mm的范围内用吸***吮吸，并应从焊缝底部至上而行。在塑料罩的不同处做出小孔，在充入一定的氦气前、后各记录起初的读数，然后封住小孔，1- 2小时后在相同的位置上记录新的读数。如发现泄漏，则应按前述的方法逐条焊缝进行排查直至找到泄漏点。