氦质谱检漏仪的原理

运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其***部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，这就是质谱。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。测量气体分压力的所有质谱计，如四极质谱计、射频质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计等都可以用于检漏。

氦质谱检漏仪的特点

操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单；

性能高：采用了进口检漏仪仪分了泵与性能较高的质谱系统，灵敏度度高，检测压强高，响应时间快；

功能强大：多种模自动切换，丰富的选项，具有权限管理功能；

可靠性高：采用氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能；

多种接口：具有RS232/485，外控IO，遥控器接囗以及外部规管接口等用户接口。

氦质谱检漏仪——检漏方法介绍

氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。

吸***与质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。氦质谱检漏仪——应用介绍（1）电子行业微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不低于0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内用吸***吮吸， 并应从焊缝底部至上而行。

管板等焊缝较多或检测面积较大时，可将该部分用塑料薄膜完全罩住并用胶带封住，以使 泄漏的氦气进入罩中如图2所示。在塑料罩的不同处做出小孔，在充入一定的氦气前、后各记录起初的读数，然后封住小孔，1- 2小时后在相同的位置上记录新的读数。航空航天高科技工业（1）例如火箭发动机及姿态发动机，过去是打压刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏，采用正压吸***与氦罩法结合，使检漏灵敏度大大提高，从而保证了发动机质量。如发现泄漏，则应按前述的方法逐条焊缝进行排查直至找到泄漏点。