真空系统

（1）抽气速率：真空泵组满足以上产品在真空腔体内的真空度要求（2.2）。

（2）系统的抽气速率可根据生产工艺要求调节。

（3）真空管路、联接、阀门等全系统达到了高真空标准要求。

（4）真空系统的安装应在平地上，无需挖坑安装。

安全措施及要求

（1）设备应符合国家安全标准及高真空行业标准。

（2）设备上所有传动带、转轴、传动链等危险零部件及危险部位，都应具备防护装置。

（3）设备的操作机构，如门及其手柄，其设置应操纵方便、安全省力、标志清晰、牢固可靠；

（4）控制系统放置在操作者便于操作和观察的部位。设备根据具体情况设置了必要的急停开关。

（5）电器安全要求；控制系统能保证在设备的供给能源在发生异常时也不会产生危险，设备本身不会损坏，也不会对人员产生伤害。

（6）设备的电气控制系统：具备过载保护和短路保护功能。当设备的线路发生碰壳时，控制系统在0.1秒内切断该线路的供电;

（7）采用三相五线制供电系统，设备外壳采用保护接地措施。

（8）电机安装牢固，控制要求具备过载、短路、断路保护、防护等级IP54以上。

（9）所有线路走线必须规范并入线槽、线号标注明显。线号要求不掉色，与图线相符。线径选择合适；

（10）控制柜门上配给门锁并张贴警示标语；

（11）设备设计、制作符合《工作系统设计的人类工效学原则》GB/T16251、《电气设备安全设计导则》GB4064、《生产设备安全卫生设计总则》GB5083、《安全色》GB2893、《安全标志》GB2894、《机械防护安全距离》GB12265等相关标准。