逆流氦质谱检漏仪

该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，锂电氦检专机报价，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦质谱检漏仪的工作原理。

氦质谱仪查漏技术介绍

氦质谱仪查漏法是一-种在线式、易操作，且灵敏度高、抗干扰的监测方法。其在各行业查漏应用中，有真空法、正压法、真空压力法、背压法等4种方法。而在各发电厂的查漏工作中，多采用真空法和正压法。发电机及压力容器、压力管道等的气密性检查多采用正压法，而汽轮机真空系统查漏则多采用真空法进行氨质谱检漏。

该方法使用的气体喷逐块、逐区域地对汽轮机真空系统各设备、各部位喷射氦气。如果某处存在泄漏点，安徽锂电氦检专机，作为检漏示踪气体的复气将随同环境中的空气被吸人，終从真空泵气水分离器排放管排出，通过监测探头在抽气器出口抽吸氦气及其他不凝性气体形成的混合气体，锂电氦检专机保养厂家，并通过氮质谱仪内的质谱分析功能，分析氮气分子颗粒在靶板上的物质量，判断被检位置的泄漏空气相对量17-81。

在检漏过程中，根据氦质谱仪显示屏上示数变化的情况，判断被检位置是否泄漏，及泄漏的程度。

氦质谱检漏仪故障与处理

检漏仪内部泄漏

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

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