氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。
灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。
标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念
（1）标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置；
（2）标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置；
（3）标准漏孔与检漏仪的关系：如果把检漏仪看成是天平，则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用：（1）用于检漏仪校准；（2）用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。
不同真空范围内的抽气时间计算
高真空-超高真空领域的抽气时间计算
这里所指的高真空至超高真空领域，是指真空度在0.2Pa以下，对于高真空领域，要充分考虑容器壁以及容器内物体的气体放出，真空箱氦检漏回收设备，因此，抽气时间和抽气速度的计算方法和低真空领域不同。
p(t)———到达压强；
Se———实际抽气速度；
Ql———腔体漏气量；
Qg(t)———腔体内部放出气体量；
p0———初期压强。
气体的放出量Qg(t)随着时间t而减少。计算开始时，合肥真空箱氦检漏设备，假定一个抽气时间，根据当时的放气量来求得到达的真空度。如果计算结果p(t)和所需的真空度不一致，则重新假定时间，根据新假设时间的气体放出量再次计算。不断重复，终让p(t)在所需的真空范围内。
高真空领域的抽气时间计算远比低真空领域复杂。真空腔体的内表面经过酒精清洗和150～200℃烘烤处理的两种情况下，后者的气体放出会减少10%左右，因此使用同样的抽气泵所能到达的真空度也会更高一些。
真空腔体内的部件形状和材质也极大地影响到达的真空度和抽气时间。如果使用了树脂类材料，则到达的真空度会比单纯考虑金属表面的气体放出要差2～3个数量级。内部使用螺钉时，螺纹部残留的气体随着抽气时间缓慢放出。为了加速螺纹部的气体放出，电力真空箱氦检漏设备公司，要在螺钉中心穿孔，或在螺纹侧面开一个出气孔。因此，内部构造越复杂，影响真空的因素就越多，要获得高真空，设计上就更需要经验。
关于真空检漏
1．概漏的基本概念
真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。
漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。
虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。
气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。
可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的值数。
好的灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在佳条件下所能检测出的小漏率。对于检漏仪器来讲，灵敏度又称作仪器灵敏度。
检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。
反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。
消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。
漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量
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