真空设备使用过程中的注意事项

在真空设备使用运行阶段，时常出现设备气密性下降，总体漏率上升的情况，这是影响真空设备正证常工作的主要原因。造成这种现象的原因包括：机械振动造成连接部位松动；经常拆卸部位的密封圈可能损坏或安装不正确；由于冷、热冲击而发生变形和疲劳破坏；某些部件或材料因受工作介质的腐蚀而破坏；某些原本被水、油或其他脏物堵塞的漏孔重新释通；以及应力集中而造成裂纹等。

正确使用真空设备，应该将检漏工作纳入真空设备日常维护、管理规范之中，例如定期做静态升压检测实验。操作人员发现设备气密性下降应及时解决，真空箱氦检漏系统，根据其设备使用情况和故障现象来分析泄漏原因，并采取适当的检漏手段，检出漏孔位置，及时修补。不要等到设备出现多种、多处泄漏，已经无法正常工作时再去检漏维修。

另外，平时准备充足的密封备件，定期（而不是出现问题后）更换易损件，也是做好真空检漏工作、保证设备正常运行的主要措施。

由于空气中氦气，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响，真空箱式氦检漏系统，这样可以测出极为弱小的讯号，从而检出的漏孔；由于氦气是惰性气体，具有分子小，质量轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，操作安全等特点，导致使用氦质谱检漏仪技术（简称氦检技术）日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。

背压法氦质谱检漏

采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，真空箱氦检漏系统多少钱，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，真空箱氦检漏系统生产厂家，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。

背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏

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