对于半导体工业而言，无尘室是一必要且不可缺之设备，澄江洁净室，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，洁净室设计，而清除地板所用者大部分为消毒的药品及化学药品，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。

传统初中过滤的净化方式机组只能做到过滤和交换新风，恒效运行净化机组可以将自动除尘技术提升到将尘埃收集到规定容器，废物回收利用;可以净化空气中气态有机污染物、祛除异味;可以做到增氧补氧、解决车间的“闷罐”现象。并可将单一的净化机组扩展为恒温：同净化系统使用同一管道，相互独立开启;恒湿：通过湿度传感器自动起关恒湿装置，洁净室厂商，湿度低时自动加湿，高时自动抽湿，达设定湿度参数;机组内预留扩展及升级模块，不但可杀灭现有病菌病毒，对不能杀灭的新型病毒可通过升级完成，生物安全隔离，符合《突发公共卫生事件应急条例》。关键是可以将全部的功能模块放在一个系统，达到客户所要求的标准。

清洁车间不同空气洁净度的空气过滤器的选择和布置：对于300，000级空气净化处理，可以使用亚过滤器代替过滤器; 100，洁净室厂家，10000和100000空气的空气洁净度对于净化处理，应使用用于初级，中级和过滤器的三级过滤器;中效或空气过滤器应根据小于或等于额定风量选择;中效空气过滤器应集中在净化空调的正压段;应在吹扫空调系统的末端放置或低效的空气过滤器。

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