.将罗茨真空装置排气门附近的油与其他油分开,油位仅略高于隔墙。
2.将油箱和排气阀移到一侧,以降低油位并减少油量。
3.阀座平面应平整,阀板应具有弹性。
4.轴封、静液压密封件应牢固,并及时更换。
5.在罗茨真空装置的油孔处增加一根管子,使油位仅略高于进油口。
6.设置止回阀机构,当泵停止时自动关闭进油口。
7.设置油泵和辅助机构,以在泵停止时切断油路。
8.罗茨真空泵装置的泵口装有充气阀。
9.安装入口容器。
罗茨真空机组具有启动快、功耗低、运行维护成本低、抽气速度快、、对抽气中含有的少量水蒸气和粉尘不敏感、在100~1pA压力范围内抽气速度快等优点,并能迅速排除突然释放的气体。该压力范围正好在油封机械真空泵和扩散泵之间。因此,扩散泵和油封机械真空泵往往串联在一起,以增加中压范围内的泵送能力。它也被称为机械增压泵。
普通罗茨真空泵只能在6000pa甚至更低的压力下启动,在1333pa~1pA之间有稳定的大抽速。由于罗茨真空泵没有内部压缩特性,它是通过气体排放的形式通过外部压缩来实现的。过高的压力和高压运行会使真空泵负载过高,使转子在压缩过程中不能散发过多的热量,导致过度膨胀,导致转子与泵腔之间的间隙消失,即卡住。
为了解决这一问题,采用冷却气体直接冷却转子,以减小转子温度与泵室之间的温差,从而避免转子过度膨胀,实现高压高压缩比运行。因此,它可以在大气压下单独使用,也可以增加多个串联装置的真空度。风冷式罗茨真空泵的结构原理与普通罗茨真空泵没有太大区别。泵出口主要设置一个连通冷却器,泵两侧引入冷却气体对转子进行冷却。采用这种结构,罗茨真空泵可以在大气压力下直接启动,独立工通过上述变化,风冷罗茨真空泵不仅可以直接在大气压力下工作,而且在高压段具有稳定的抽速曲线,可以大大缩短抽气阶段的抽气时间。与其他直接气封泵相比,气冷罗茨真空泵在高压下具有良好的节能特性
干式螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是二十世纪九十年代初期呈现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以普遍应用。
干式螺杆真空泵由于其***的性能,在欧美和日本曾经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业真空获得设备;干式螺杆真空泵同无油螺杆紧缩机在密封和润滑上结构类似,普通真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件;传动轴衔接主动转子,经过同步齿轮带动从动转子旋转,在壳体上开有冷却水通道,用来冷却转子和排气口温度,同步齿轮及轴承用油润滑,轴承和壳体内部经过密封件来密封以抵达无油的效果。