真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

动态泄漏

真空系统中有运动传递的地方会采用动密封，河源真空箱氦检漏系统，这些动密封结构，很有可能在静态的时候密封良好而运动的时候产生泄漏；比如采用橡胶轴封做动密封（阀杆与阀体之间）的阀门，就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高，不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态，这种动态泄漏很难被发现。

对于非常关键的工艺，选择波纹管密封的阀门可以大大减小出现动态泄漏的概率；如果选用的还是轴封做密封的阀门，在检漏时，向阀杆位置喷氦的同时，操作阀门进行动作，也可以很快地判断该阀门是否存在动态泄漏。

值得注意的是，真空腔体检漏的要求较高，真空箱氦检漏系统批发，不仅需要操作者具备扎实的基础知识、丰富的操作经验，而且现场情况也复杂多变。因此，出现问题，好寻求公司人员的帮助。

背压法氦质谱检漏

采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，氦检漏回收系统，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，真空箱氦检漏系统哪家好，排除大漏的可能。

背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏

真空系统的可允许漏气率

真空系统的可允许漏气率应视其操作压力范围及应用的需要而定，以下所列为以真空范围的可允许漏气率。

（1）粗略真空系统

真空系统操作压力范围为粗略真空，从大气压力1013mBar至1mBar；可允许漏气率为1毫巴?公升/秒。

（2）中度真空系统

真空系统操作压力范围为中度真空，从1mBar至10-3mBar；可允许漏气率为10-2毫巴?升/秒。

（3）高真空系统

真空系统操作压力范围为高真空，从10-3mBar至10-7mBar；可允许漏气率为10-5毫巴?升/秒。

（4）超高真空系统

真空系统操作压力范围为超高真空，压力低于10-7mBar；可允许漏气率为10-9毫巴?升/秒

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