真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

大部分真空系统的表现会随时间的推移而变化，特别是用于生产的真空设备，真空箱氦检漏设备公司，几乎不可避免地会发生真空度下降等问题，造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。

定期的泄漏检测很重要

大的泄漏通常会非常明显：真空腔体压力未按正常速度下降，或者极限压力明显高于正常值。然而，有些时候，由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载，小的泄漏很难被发现，这时，即使真空计的读数仍然在正常的水平，泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体（如氧气），这些气体有时候会对工艺过程（比如某些镀膜工艺）带来非常严重的影响。所以，无论真空系统的压力是否有明显下降，都应该定期进行泄漏检测。

真空系统不严密的主要原因一般是真空系统的泄漏造成的。

真空系统泄漏主要是由于系统内有管道法兰或仪表接口松动，密封垫破损或焊口裂缝造成空气被吸入产生的。而漏入真空系统的空气一般都会通过真空泵抽出，排到大气中。氦质谱检漏仪真空查漏法，正是利用了这一点，在我们怀疑的泄漏点处喷氦气，在另一边，也就是真空泵的排气口处安排人员将氦质谱检漏仪的吸架设好，“守株待兔”。如果该处怀疑的泄漏点真的泄漏，那喷在漏点处的氦气就会被吸入系统，进入凝汽器并被真空泵抽出，真空箱氦检漏设备维修，通过真空泵的出口排出来，架设在真空泵出口的吸就会捕获这些氦气，检漏仪就会识别检测出氦气分子量。

一般来说漏点越大，获的氦气分子量就越多，东莞真空箱氦检漏设备，被检漏仪检测到的氦气分子也越多，这样就能准确锁定漏点的位置和大小。

氦质谱检漏仪真空查漏人员一般都是对系统非常熟悉的人员，真空箱氦检漏设备批发，因此在火电厂组织真空时都优选选择熟悉系统的运行人员。

真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

实漏和虚漏

并非所有的抽气时间延长、极限压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有必要了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。

真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。

真实的泄漏可以通过检漏找到，放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决，而虚漏一旦产生，很难被发现，需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺，如上图中的螺纹连接（一定要用的话可以使用空心螺栓），很长的狭缝或毛细管，两侧满焊的腔体焊接（较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊）等等。

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