与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计，系统原理简图如图一所示，两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。两个工位可交替执行不同工艺流程，比如一个工位在检漏时，另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理。

真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术（1）氦气充注及回收设计：首先、务必保证安全问题，因为涉及到高压气体因此储气罐务必设置安全阀及压力适时检测装置，保证压力容器安全。第二、压力管道务必密封良好，真空氦检漏回收系统，防止充气及回收过程中空气混入到系统中，造成氦气纯度下降。第三、需要有氦气浓度检测装置，保证在氦气压力及纯度达不到要求时，补充新鲜的氦气。第四、具备虑油装置，防止氦气增压泵以及真空泵中的油蒸汽进入气罐，污染系统。（2）抽空系统设计：抽空系统设计应本着适度、够用、满足需求原则。系统冗余过大，会导致制造成本偏高，也不离于节能环保。

***的检漏技术—氦质谱检漏技术，其在空调两器生产中的使用情况，针对存在的问题，对自动化氦检技术作了探索并实践。空调器是由制冷剂在压缩机的驱动下而循环制冷的产品，在这种循环制冷的过程中，制冷系统（尤其蒸发器和冷凝器）是密闭的，一旦制冷剂泄漏，不但制冷效果降低甚至丧失制冷能力，同时污染大气，所以保证制冷系统的气密性是空调器生产的关键。

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