因以上几点不足，实际生产中，吸法一般配合真空箱法使用，当真空箱法检出不合格工件时，用吸法来找出不合格件的漏点所在。真空箱法是将充有氦气的工件放入箱内，然后对箱内抽真空，用氦质谱检漏仪探测真空箱内的氦气质量，推算出工件的实际氦漏率，该方法检漏便于迅速判断工件有无泄漏，可以称为“把关式”检漏法。在正常情况下，可以保证不漏检，真空箱设备的氦质谱检漏仪精度可以达到10-12Pa。m3。s-1(He)。实际生产中，由于考虑生产节拍（20~30秒），一般可以检漏率为4X10-7Pa。m3。s-1。相当于0。5g/年（R22的漏率），完全满足家用空调器的检漏需要。真空箱氦检法的缺点是不能发现工件的具体漏点，所以需增加吸法来找出不合格件的具体漏点。真空箱检漏法。

背压法氦质谱检漏采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。

真空设备安装调试过程中的检漏步骤安装调试阶段是真空设备或系统检漏工作的主体。若设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏得以保证，真空箱氦检漏系统哪家好，那么在设备安装、调试过程中，检查、保证连接部位的密封性，是检漏工作的重点。包括各个管道、部件间的法兰连接和动密封件等重点部位。若同时对焊缝和连接部位检漏，则检漏的工作量和难度都加大。

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