关于真空检漏漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为1。01×105Pa，出口压力低于1。33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。

真空箱氦检漏系统在两器使用经验实际产品漏率报警阈值的设定在对空调两器检测时，对产品报废点的设置非常关键，指标要求过高，真空箱氦检漏系统哪家好，将会带来大批量产品不合格，太低又保证不了产品质量。正确确定产品的报警点需要以下步骤：(1)将冷媒漏率换算成气体漏率在对空调两器进行泄露检测时，常使用气体取代制冷剂进行泄露检测，因此，需要将液体漏率与气体漏率之间作一个等效转换。

背压法氦质谱检漏采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。

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