1. 为确保无尘车间的净化环境和无尘度,需对无尘车间定期监测,监测项目和频次照有关规定。如有特殊要求,PCR洁净车间公司,可另行规定。
2. 发现下列情况,PCR洁净车间企业,空气过滤器应予更换:
(1) 气流速度降到低限度,即使更换初效和中效空气过滤器后,气流速度仍不能增大。
(2) 空气过滤器风量为原风量的70%。
(3) 空气过滤器出现无法修补的渗漏。
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无尘车间的节能原则
无尘车间里存在大量可以节约能源的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩,PCR洁净车间设计,很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径,德州PCR洁净车间,尽可能地压缩前期投入,而不顾后期运行费用。高的效率的设计和高的效率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本,会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中 。
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1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行,在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功,现场的每一位人员都必须遵守。
2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。
3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建,后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。
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