氦检漏设备由于检测灵敏度高、反应速度快、定位准确而得到广泛应用。但在使用过程中经常出现故障或问题，影响设备的正常使用。氦是惰性气体，不腐蚀设备，因此常用氦来表示泄漏气体。将这种气体喷射到接有气体分析仪(调整到只对氦反应的工作状态)的被检容器上。氢氦是一种理想的跟踪气体:空气中含量低、重量轻、运动速度快、线性运动距离长。在实际使用中，相对容易获得，可以大量使用。

传统仪器采用反流法放置在主泵前端，使检验部件放置在检漏仪前。因此，它具有高压、无液氮、无污染的特点。适用于大泄漏、真空卫生差的真空系统，生产氦检漏仪，灵敏度可达10-12微米。如果氦质谱检漏仪内部有泄漏，会给检漏工作带来很大的干扰，容易造成误检和误判。氦质谱检漏仪内部的主要密封位置在检漏仪后面，汕尾检漏仪，在绝热板上方。向容器外喷洒跟踪气体a，用仪器检查容器内是否有气体a。这种方法可以检测泄漏点和泄漏率。这种泄漏检测方法称为真空泄漏检测。

氦检漏设备的维修注意事项：在安装过程中，应避免安装部位泄漏，并且可以自己检查，自动检漏仪，氦检漏设备维护，泵定期保养。氦质谱检漏仪内漏，每个电磁阀和阀门组件之间的连接部分。密封件用氟橡胶圈或金属垫片密封，密封寿命有限，使用5年以上，容易出现密封故障。氦检漏设备由于检测灵敏度高、反应速度快、定位准确而得到广泛应用。但在使用过程中经常出现故障或问题，影响设备的正常使用。

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