如果没有每天使用氦检漏设备，建议每周通电一次，以便在高真空系统中保持真空，缩短氦泄漏仪的通电时间。 氦质谱检漏仪是一种偏磁质谱仪。单级磁偏转转换仪的灵敏度为lo-9~10-12pam3/s，广泛应用于各种真空系统和元件的检测。传统仪器采用反流法放置在主泵前端，全自动氦质谱检漏仪，使检验部件放置在检漏仪前。因此，它具有高压、无液氮、无污染的特点。适用于大泄漏、真空卫生差的真空系统，灵敏度可达10-12微米。

氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，氦检漏仪价格，分子量和粘度系数小，氦气检漏仪，容易通过泄漏孔扩散。氦检漏设备在高速工作时，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，易造成误检和误判。 氦质谱检漏仪实际上可以说是氦仪，通过检测氦的含量来确定是否有泄漏。氦检测采用质谱仪，是一种只检测氦的特殊质谱仪，可以屏蔽其它品质的气体。

氦质谱检漏仪的基本原理是，不同质荷比的离子在磁场中运动时，其偏转半径不同，从而实现不同类型离子的分离。如果装有液体或气体的容器内外有压差，就不能有气体或液体泄漏。如果泄漏，后果严重，检漏仪，一般会造成有效材料的浪费，如有毒材料和腐蚀性气体泄漏，甚至导致事故。传统仪器采用反流法放置在主泵前端，使检验部件放置在检漏仪前。因此，它具有高压、无液氮、无污染的特点。适用于大泄漏、真空卫生差的真空系统，灵敏度可达10-12微米。

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