针对氦质谱检漏仪内部密封结构出现泄漏，检测信号不准确，制冷系统检漏仪，质谱室故障，检漏仪，分子泵不工作，前机泵不工作等问题，提出了解决办法和建议。氦检漏设备在高速工作时，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，易造成误检和误判。氦质谱检漏仪在使用过程中，常常会出现一些故障现象，影响氦质谱检漏仪的正常运行。如不注意，则会危及检漏仪的使用寿命。

掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修，也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。真空测量仪的探头和外壳之间用密封剂密封，在检测中容易被忽略。如果这里有泄漏，可以用灌胶处理，但是探头间距很小，操作空间有限。氦质谱检漏仪是一种性能稳定、灵敏度高的氦作为泄漏气体的是真空检测技术中敏感度高、常使用的检漏仪。

氦是惰性气体，不腐蚀设备，氮氢检漏仪，因此常用氦来表示泄漏气体。将这种气体喷射到接有气体分析仪(调整到只对氦反应的工作状态)的被检容器上。氦检漏设备的维修注意事项：在安装过程中，应避免安装部位泄漏，检漏仪装置，并且可以自己检查，氦检漏设备维护，泵定期保养。氦检漏设备由于检测灵敏度高、反应速度快、定位准确而得到广泛应用。但在使用过程中经常出现故障或问题，影响设备的正常使用。

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