电子束蒸发镀膜设备介绍哪些性能？

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真空测量：采用数显复合真空计（两只电阻规测量低真空，一只电离规测量高真空）， 测量范围为1×105Pa —1×10-5Pa。

断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。

电子束简介

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电子经过汇集成束。具有高能量密度。它是利用电子中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压（25-300kV）加速电场作用下被加速至很高的速度（0.3-0.7倍光速），经透镜会聚作用后，形成密集的高速电子流。

电子束【释义】：又称电子注。在真空汇集成束。可采用静电场聚焦，磁场聚焦等方法。电子显微镜和电视机就是利用电子束形成影像的。

电子束结构介绍

粒子增速器的结构可以与显像管类比。显像管中的电子对应于增速器的电子或离子源，显像管中加速电子用的高压电极对应于增速器中的高压加速电极及加速腔。显像管中控制电子运动的电偏转板与聚焦电子的聚焦线圈，对应于增速器中控制粒子运动轨道和聚焦粒子束流的多种电磁部件，激光分子束外延设备，如导向磁铁、聚焦磁铁、多极校正磁铁等。对粒子增速器的粒子运行管道来说，为了减少粒子在运动中与残余气体碰撞而造成粒子的丢失和束流性能变坏，所要求的真空度比显像管要高数千到数万倍。随着科学技术的不断发展，根据科学家对粒子能量和流强的不同要求，激光分子束外延设备报价，陆续产生了不同原理、不同结构的多种增速器。

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