激光分子束外延设备公司-沈阳鹏程真空技术公司





电子束蒸发镀膜机产品介绍

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产品配置:

★样片数量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架(用户定制)

★蒸发材料:金属;非金属;化合物等薄膜材料。

★蒸发腔体:高真空系统。

★蒸发不均匀性:≤±3%-±5%

★工件架:可旋转,转速可调

★加热:常规加热

★电子:E型,带XY偏转扫描

★电子坩埚:6穴,17cc

★膜厚监控功能:石英晶控膜厚在线监测与终点控制

★清洗功能:可选配离子源清洗

★器件一次成型复合实验系统:通过复合mask系统与样品对准系统,一次完成器件的多个工艺步骤

★检测与控制光学特性的功能:可选配光控仪

★操作模式:全自动+半自动控制



电子束镀膜属于蒸镀还是溅射?

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1.蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物理气相沉积(PVD)的工艺方法。

2.蒸发镀主要包括:电阻加热蒸发、感应加热蒸发、电子束蒸发、激光加热蒸发、离子束蒸镀等。

3.您所说的E型镀膜和直型电子镀膜都是属于热蒸发镀膜的范畴。

4.S溅射实际就是锥形磁控溅射靶,阴极靶材为环状锥形,安装在水冷座上。环状磁钢套在靶材外边形成曲线磁场,其平行靶面的磁场分量和垂直于靶面的电场分量形成正交电磁场。电子束被约束在靶面附近运动,激光分子束外延设备,电子流密度很大,在靶面附近产生很强的非弹性碰撞,电离几率很大,激光分子束外延设备价格,形成很强的等离子体。



电子束蒸发镀膜机各部件介绍

1、烘烤照明系统1套。烘烤温度:室温-150℃。(在10-4Pa时,真空室内残余气体的组合,水蒸汽约占 90%以上,因此在该压强下进行蒸镀,实际上相当于在水蒸汽中制膜,激光分子束外延设备多少钱,为了减少水份,提高真空室温,使水分解,是提高膜层质量的一种可行办法)。

2、电控柜:标准电控柜,组装总控制电源、真空系统控制(分子泵、机械泵电源、挡板等)、数显真空计等。柜底下配脚轮,方便移动、定位。

3、手动按钮式操作,备留机电转换及控制接口,方便实验记录.

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