氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过泄漏孔扩散。氦检漏设备在高速工作时，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，易造成误检和误判。 氦质谱检漏仪实际上可以说是氦仪，通过检测氦的含量来确定是否有泄漏。氦检测采用质谱仪，是一种只检测氦的特殊质谱仪，可以屏蔽其它品质的气体。

检漏接口与阀块的连接部位有泄漏。首先，用灌胶密封。如果密封性能仍不符合要求，需要从制造商那里购买新产品。氦检漏设备的维修注意事项：在安装过程中，应避免安装部位泄漏，氦气检漏仪价格，并且可以自己检查，氦检漏设备维护，制冷剂检漏仪，泵定期保养。氦质谱检漏仪的基本原理是，氦检漏仪，不同质荷比的离子在磁场中运动时，其偏转半径不同，从而实现不同类型离子的分离。

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