由于空气中氦气，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响，这样可以测出极为弱小的讯号，从而检出的漏孔；由于氦气是惰性气体，具有分子小，质量轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，氦质谱真空检漏，操作安全等特点，导致使用氦质谱检漏仪技术（简称氦检技术）日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。

新能源汽车水冷板氦气检漏系统必须具备的真空密封技术和的柔性工装机构，才能大大提高工件的公差适应性。真空箱氦检漏系统的产品特点：1.人机交互界面、实时监视和诊断。2.自动判断，声光提示。3.输出设备，全数字显示检测结果。4.全自动压力监测，系统自动补充高纯氦。氦气检漏系统的测试方法主要包括：传统的直接压力气密性测试，直接压力检漏的过程很相似；传统的差压气密性试验也称比较法。

因以上几点不足，实际生产中，吸法一般配合真空箱法使用，当真空箱法检出不合格工件时，用吸法来找出不合格件的漏点所在。真空箱法是将充有氦气的工件放入箱内，然后对箱内抽真空，用氦质谱检漏仪探测真空箱内的氦气质量，推算出工件的实际氦漏率，该方法检漏便于迅速判断工件有无泄漏，可以称为“把关式”检漏法。在正常情况下，可以保证不漏检，真空箱设备的氦质谱检漏仪精度可以达到10-12Pa。m3。s-1(He)。实际生产中，由于考虑生产节拍（20~30秒），一般可以检漏率为4X10-7Pa。m3。s-1。相当于0。5g/年（R22的漏率），完全满足家用空调器的检漏需要。真空箱氦检法的缺点是不能发现工件的具体漏点，所以需增加吸法来找出不合格件的具体漏点。真空箱检漏法。

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