氦质谱检漏仪实际上可以说是氦仪，通过检测氦的含量来确定是否有泄漏。氦检测采用质谱仪，是一种只检测氦的特殊质谱仪，可以屏蔽其它品质的气体。氦质谱泄漏检测仪是一种气密性检测仪，由氦气作为泄漏气体制成。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室、抽气系统和电气部件组成。氦质谱检漏仪主要由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离规、抽气机、电子元件等组成。它是由灯丝、离化室、离子组成的离子源。

质谱室内灯丝发射的电子在室内来回振动，与室内气体和泄漏孔进入室内的氦气相互碰撞，使其电离成为正离子。这些氦质谱泄漏检测仪在电阻炉泄漏检测中较常用检漏方法。真空测量仪的探头和外壳之间用密封剂密封，制冷系统检漏仪，在检测中容易被忽略。如果这里有泄漏，可以用灌胶处理，但是探头间距很小，检漏仪，操作空间有限。具有一定速度的离子在均匀磁场中以圆轨运动。逆流氦质谱检漏仪的结构特征。这类仪表是基于与不同气体类型有关的油扩散泵或分子泵的压缩比而制作的。

如果氦质谱检漏仪内部有泄漏，会给检漏工作带来很大的干扰，氦检漏仪费用，容易造成误检和误判。氦质谱检漏仪内部的主要密封位置在检漏仪后面，在绝热板上方。如果没有每天使用氦检漏设备，建议每周通电一次，检漏仪氦质谱，以便在高真空系统中保持真空，缩短氦泄漏仪的通电时间。氦是惰性气体，不腐蚀设备，因此常用氦来表示泄漏气体。将这种气体喷射到接有气体分析仪(调整到只对氦反应的工作状态)的被检容器上。

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