与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计，系统原理简图如图一所示，两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。两个工位可交替执行不同工艺流程，比如一个工位在检漏时，另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理。

氦质谱检漏法与气泡检漏法、压强衰减法和卤素检漏法相比，除检漏原理不同以外，还具有监测灵敏度高，速度快、适用范围广，探索气体无毒性、无破坏性、质量轻等优点，是诸多检漏法中方法。?氦质谱检漏仪清洗方法：用航空或和无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；用烘箱或电吹风进行干燥。氦气检漏系统:由于水的粘度大于气体的粘度，与传统的泡水检测方法相比，气密性检测速度快，真空箱式氦检漏系统，产品不需要干燥，所以。

关于真空检漏漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为1。01×105Pa，出口压力低于1。33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。

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