氦质谱检漏方法分析氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5。0×10-12Pa·m3/s，如北京中科科仪生产的542检漏仪。国外检漏仪小可检漏率高可达到5。0×10-13Pa·m3/s，如德国Inficon，法国阿尔卡特等。目前，国内外比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。后续将着重介绍真空箱法检漏在空调两器检测方面的应用。

这种方法只适用于钢桶的型式检验，真空氦质谱检漏仪，不适合钢桶的在线检测，因为检测时间长、效率低、劳动强度大、可靠性低。2、正压压降法向被检工件充入一定压力的气体，稳压一段时间，如果工件上有漏孔，气体会从漏孔漏出，工件内的压力会下降，用压力传感器检测工件内的压力变化ΔP，工件漏率大小：正压压降法-特点及应用：优点：提供清晰的检测结果；干式检测；设备成本相对便宜；检测过程的操作不依赖与操作者的经验。

氦质谱检漏仪工作原理氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。真空箱法检测特点优点：灵敏度高；检测结果明确；自动检测，不依赖操作者经验；干式检测；节拍快，技术成熟。

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