该仪器设计原理是利用了软X射线的透射吸收特性，通过传感器测量透过介质的射线衰 减度，按一定算法转换为薄膜和板材的厚度数值，测量精度与用户提供的样片有关系，平均值精度可到0.1UM，是一种薄膜在线厚度检测仪器的高科技产品。

  为确保仪器的精度，必须保证有三大要素

  1.仪器机械结构的加工精度

 2.信号的采集处理精度

3. 软件算法和准确的采样