洁净室的这些污染源，你可能都忽略了！

一、电磁噪声

二、振动

三、生锈

除了上述这些大家熟知的原因之外，器材和设备的搬移和大修施工时的污染问题。

这些污染并不只是由于人的移动造成的，设备移动也会扬起已落在地板表面和器材上的尘埃。

特别是更换设备时养护地板，搬进小工具或很多搬运工进出洁净室，这些情况会导致室内的悬浮尘埃量比平时大一百倍以上。

洁净室的控制养护

严格控制洁净室与相邻房间之间的压差同样是保证生产房间空气洁净度的重要环节。不同洁净级别的洁净室及洁净区与非洁净区之间的压差应大于5帕斯卡，洁净区与室外压差应大于10帕斯卡，且送风、回风和排风系流的启闭应联锁并按顺序操作，这样可以避免空气倒流，减少低级别尘埃对洁净室环境的污染。每次生产前及一定的生产周期后须对清洁后的洁净室在静态条件下进行尘埃粒子数的检测，以评价和掌握洁净室尘埃粒子的含量。

电子洁净室污染因素：

一、电磁噪声

通过大电流的氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关，高频振荡等产生的电磁噪声，组装式洁净室，影响电子束扫描设备的扫描精度。其影响程度与发生源的距离成反比。

二、振动

设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备仪器上，影响它们的工作精度。

应在振源和怕受振动的设备下安装空气的弹簧减震器，以达到衰减振动的目的。

三、生锈

酸用通风罩局部排风量不足时，酸雾气扩散于室内，腐蚀室内设备的金属部分，就是不锈钢露在含CI气的空气中，也会受腐蚀生锈。

处理酸的有效的方法是采用密闭通风罩，保证足够的局部排风量。

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