MicroE高真空编码器

Celeramotion公司MicroE高真空编码器将强性能、小尺寸和高真空额定值相结合，应用范围广泛。所有型号均使用高达10-8 托的真空兼容材料构造。 由于MicroE的广泛对准公差，编码器更易于对齐、更易于使用或集成到您的设计中。

型号: M1000V

简明规格:

直线： 分辨率从5微米至78纳米不等，精度达+/-1微米/米/     旋转：分辨率从2,500到4,200,000 CPR不等，精度达+/-2.1弧秒

   接口：1Vpp模拟接口（带零位）

   真空度：额定真空度为10-8 托

型号: M1500V

简明规格:

直线：分辨率从5微米至0.5微米不等，精度达+/-1微米/米/     旋转：分辨率从6,600到655,000 CPR不等，精度达+/-2.1弧秒

   接口：A-quad-B数字接口（带指数）

   真空度：额定真空度为10-8 托

Mercury II  Series

Mercury II 数字输出高真空额定编码器提供很高的分辨率、精度和小巧的传感器外形。所有型号均使用高达10-8 托的真空兼容材料构造。 由于MicroE的宽范围对准公差，编码器更易于对齐、更易于使用或更容易集成到您的设计中。

型号: MII6000V

简明规格:  直线：分辨率从5微米至1.22纳米不等，精度达+/-1微米/米/。

旋转：分辨率从20,000到268M CPR不等，精度达+/-2.1弧秒     接口：A-quad-B数字接口（带指数）

   真空度：额定真空度为10-8 托

MII6810

MII5850

MIIL1000

IIR12151

ATMII5000-US

ATMII5000-EU

CE300-4

Ce300-40

L325CE

R10851CE

PIA-0000-XX-XX-X

PIB-0000-xx-xx-x

VIA-0000-XXX-XX-x'xA

VIA-xxxx-xxx-xx-xxA（<50nm）

VI-

VX-XXXX-AA1-20-30A