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扫描电子显微镜的功能

扫描电子显微镜的功能

  1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌,三维重构哪家好,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)

  2、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析

  1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号,生成与样品形貌相对应的,元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析,相鉴定。

  2)利用背散射电子(BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差,三维重构中心,生成化学成分相的分布图像;

  3)利用阴极荧光,基于某些痕量元素(如过渡金属元素,稀土元素等)受电子束激发的光强反差,生成的痕量元素分布图像。


扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关

扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关,电子束斑越小,菏泽三维重构,电子在试样上的分辨率越高。在保证束斑足够小的情况下,电子束还要有足够的强度。束流太低不能从试样表面激发足够的信号,噪声影响大。二次电子对形貌敏感。凸起部位亮,凹陷部位暗,景深好,细节清晰。  背散射电子对原子序数敏感,原子序数高的区域能得到更多的背散射电子,相应图像较亮,可以用来观察材料成分的分部。  原子被激发会发出,每种元素受激发射发出的会不同,通过对不同X进行检测,就可知道材料中包括什么元素和比例。


为了观察到复合材料界面区的二次电子像,应用某种方法将材料的界面区域暴露于试样表面。例如:

  将纤维增强复合材料中的纤维拉出,暴露出纤维表面和原先与纤维相结合的基体表面,这是受到或多或少损坏的界面。

  另一个常用的方法是对复合材料施力,使其沿设定的方向断裂。对脆性材料,可在常温下实施;而对韧性复合材料,可用冷冻断裂法,在液氮温度下将材料脆性断裂,暴露出包含基体、增强体和界面的区域。

  还有一种方法是将暴露了界面区的端面或断裂面,在超薄切片机上用金刚石刀或玻璃刀切平。


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