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扫描电镜的电子束轰击试样

当扫描电镜的电子束轰击试样表面时,天津三维重构,电子束会进入试样内部,产生散射现象,三维重构机构,电子束在散射后会改变前进方向,而且还会损失部分能量,随之而来产生各种其他信息,如热、俄歇电子、X射线、可见光、二次电子、背散射电子等。

当入射电子与试样相互作用后,三维重构价格,其中有一部分电子会返回表面逸出,则这部分被返回表面逸出的原入射电子被称为背散射电子。在实际成像过程中,通常以能量大小对电子信息进行分类,能量大于50eV而小于入射束能量E0的电子称为背散射电子,大部分背散射电子的能量约为原入射能量E0的0.7~0.9倍。利用背散射电子来成像所获得的图像称为背散射电子像。背散射电子像在电镜成像中的使用率和图像的分辨力也都比较高,仅次于一次电子像。


聚焦电子束与试样相互作用

由电子发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其它物 理信号),揭阳三维重构,二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。


桌面型扫描电镜的扫描速度快,信号采集带宽10M,可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,不需对中光阑等复杂步骤,聚焦消像散后可直接拍图。

桌面型扫描电镜的几个使用特点:

  1、体型小巧,无需准备独立实验室;

  2、结构设计简洁,人性化设计,易于维护及保养;

  3、高真空(10-3Pa)及15kV宽加速电压(1kV步进),可满足不同样品的测试需求;

  4、不断优化的软件功能,让不同经验的使用人员都能轻松上手操作。


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