台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
电子光学系统：电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。
电子：其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
电磁透镜：其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小，扫描电镜分析中心，使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
扫描线圈：其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。
钨灯丝台式扫描电镜的操作性能以及技术参数
看表面形貌，电子成像，扫描电镜分析费用，亮的区域高，暗的区域低。非常薄的薄膜，背散射电子会造成假像。导电性差时，电子积聚也会造成假像。
钨灯丝台式扫描电镜性能是很多人关心的因素，所谓的性能包括两个因素，包括钨灯丝台式扫描电镜的操作性能以及技术参数。首先是操作性能，在设计机器的过程中操作性能是重要考察的因素，考验是设备部件之间的相互衔接，能否在测量的过程中更加的操作钨灯丝台式扫描电镜是影响设备性能的关键因素。不仅是钨灯丝台式扫描电镜操作性能，扫描电镜分析价格，钨灯丝台式扫描电镜的测量技术参数也是不可忽视性能因素，看看台式扫描电镜的技术参数是否能够满足自己的测量的需求。
扫描电子显微镜SEM 基本参数
放大率：通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到
场深：扫描电子显微镜SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，西双版纳扫描电镜分析，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。
工作距离：工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。 如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。
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