扫描电子显微镜的样品制备块样 对于金属、岩矿或者无机物，切割成要求的尺寸，粘在样品台上。假如样品数量很多的话，那么就要注意样品尺寸的一致性。 微区成分分析样品表面应该平台或者通过研磨抛光，能够确保检测的时候几何条件不变。对于样品的断口面，要选择起伏不大的部位，好是分析点附近有小的平坦区。样品表面与底面应该平行。 非导电或者导电性较差的材料，要***行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜。为了避免电荷积累，影响图像品质，并且可以防止试样的热损伤。
扫描电镜之电子探针显微分析
扫描电镜之电子探针显微分析
显微结构分析
电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，是分析试样较大范围内的平均化学组成，高分辨透射电镜测试价格，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。
扫描电镜之电子探针的试样要求
试样尺寸 扫描电镜
所分析的试样应为块状或颗粒状，其尺寸要根据不同仪器的试样架大小而定。定量分析的试样要均质，厚度通常应大于5μm。例如对JCXA-733 电子探针仪，试样尺寸为Φ32mm×25mm。EPMA-8705 电子探仪所允许的试样尺寸为102mm×20mm。由于电子探针是微区分析，分析区域是几个立方微米，廊坊高分辨透射电镜测试，电子束扫描分析和图像观察区域与放大倍数有关，但也不会超过5mm。所以均匀试样没有必要做得很大，有代表性即可。
如果试样均匀，在可能的条件下，高分辨透射电镜测试费用，试样应尽量小，特别对分析不导电试样时，小试样能改善导电性和导热性能。
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