






由电子发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,FIB电镜制样费用,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其它物 理信号),FIB电镜制样中心,二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。

扫描电镜带能谱结合了表面成像功能和元素分析
扫描电镜带能谱结合了表面成像功能和元素分析EDS功能,EDS(能谱仪)可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。台式电镜能谱仪体积小巧,完全嵌入在电镜主机中,采用半导体制冷,济南FIB电镜制样,无需额外冷却系统。与光学显微镜类似,FIB电镜制样机构,扫描电镜也通过透镜来控制电子路径。但因为电子无法穿过玻璃,所以扫描电镜要使用电磁透镜。它们由线圈和金属极片构成。当电流通过线圈,就会产生磁场。由于电子对磁场非常敏感,因此只需调节所施加的电流大小就可以控制镜筒内的电子路径。

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:
A. 入射电子束束斑直径:为扫描电镜分辨本领的极限。一般,热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm,场发射电子可使束斑直径小于3nm。
B. 入射电子束在样品中的扩展效应:扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高,样品原子序数越小,则电子束作用体积越大,产生信号的区域随电子束的扩散而变大,从而降低了分辨率。
C. 成像方式及所用的调制信号:当以二次电子为调制信号时,由于其能量低(小于50 eV),平均自由程短(10~100 nm左右),只有在表层50~100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面, 发生散射次数很有限,基本未向侧向扩展,因此,二次电子像分辨率约等于束斑直径。

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