扫描电镜的操作指导与维护保养

　一、每种检测物品由于特性不同，这个时候使得检测时间以及检测方法都存在较大的差异，大家必须掌握好每种材料或是产品的检测方法以及正确测量时间，缩小误差范围。

　　第二、在进行检测的过程当中，千万不要让相关尖锐等硬物质触碰到镜头，尤其是在移动检测过程当中，如果扫描电镜报警的话，说明了移动方向已经达到了。

　　第三、扫描电镜的使用，环境因素很重要，通常室内当中的温度保持在20-30度这个范围，而湿度方面在百分之七十以下，并且在操作之前，需要将仪器设备以及工作台面进行有效的清洁。

扫描电镜对样品的要求

样品制备方法

　　1、块样

　　对于金属、岩矿或无机物，切割成要求的尺寸，粘在样品台上。如果样品数量多，注意样品尺寸一致。

　　微区成份分析样品表面应该平台或经研磨抛光，可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面，要选择起伏不大的部位，是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。

　　非导电或导电性较差的材料，要***行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累，影响图像质量，并可防止试样的热损伤。

　　2、粉样

　　（1）微米级粉料：将粉样撒在样品台的双面胶上，用手指轻弹样品台四周，粉料会均匀地向四周移动，铺平一层，侧置样品台，把多余粉料抖掉；用纸边轻刮、轻压粉料面，使粉料与胶面贴实；用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程，粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。

　　（2）对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析：利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上 。

扫描电镜之电子探针显微分析

显微结构分析

电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，天津不导电样品电镜测试，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。

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