蚀刻不锈钢带中的1/2H,1/4H是什么意思?
一般带材或称卷材,宽度20-610mm,可根据客户需要进行分条处理,窄宽度可分为5mm,我们蚀刻加工的不锈钢带在300宽以上或少需要达到150mm较好。这主要是针对平面蚀刻工艺。
蚀刻不锈钢带表面分为好几种:亮面(BA),雾面(2B),镜面(8K),拉丝(HL)CSP;蚀刻不锈钢带硬度:不锈钢带,一般分为软态,半硬,中硬,特硬四种;1/2H冷扎硬化不锈钢带的硬度HV要310以上,3/4H的HV要370以上,H的硬度要430以上;
蚀刻不锈钢带料硬度为130度,此材料为深拉伸材料,延伸率可达50%以上,1/4H硬度为180度以上;所以,针对不同的材料,所使用的硬度,要求等等都是不同的。也直接影响到终产品的性质和品质。
兴之扬蚀刻不锈钢网片小编来向大家说说电浆干法蚀刻制程参数:
电浆蚀刻制程参数一般包括了射频(RF)功率、压力、气体种类及流量、蚀刻温度及腔体的设计等因素,而这些因素的综合结果将直接影响蚀刻的结果。
射频(RF)功率是用来产生电浆及提供离子能量的来源,因此功率的改变将影响电浆中离子的密度及撞击能量而改变蚀刻的结果。压力也会影响离子的密度及撞击能量,另外也会改变化学聚合的能力;蚀刻反应物滞留在腔体内的时间正比于压力的大小,一般说来,延长反应物滞留的时间将会提高化学蚀刻的机率并且提高聚合速率。气体流量的大小会影响反应物滞留在腔体内的时间;增加气体流量将加速气体的分布并可提供更多未反应的蚀刻反应物,因此可降低负载效应(LoadingEffect);改变气体流量也会影响蚀刻速率。原则上温度会影响化学反速率及反应物的吸附系数(AdsorptionCoefficient),提高芯片温度将使得聚合物的沉积速率降低,导致侧壁的保护减低,但表面在蚀刻后会较为干净;增加腔体的温度可减少聚合物沉积于管壁的机率,以提升蚀刻制程的再现性。晶圆背部氦气循环流动可控制蚀刻时晶圆的温度与温度的均匀性,以避免光阻烧焦或蚀刻轮廓变形。其它尚须考虑的因素还有腔体的材质,一般常见的材质包含铝、陶瓷、石英、硅及石墨等,不同的腔体材质会产生不同的反应产物并会改变蚀刻的直流偏压。
兴之扬蚀刻的优势有哪些?
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