全自动扫描电镜对样品的要求
1、样品要尽可能干燥，含有水分或其他易挥发物的试样应先烘干除去；若样品中含有水份，水分挥发会造成仓内真空度急剧下降，导致图像漂移，有白色条纹，甚至会影响灯丝寿命；
2、热稳定性好，热稳定性差的样品往往在电子束的轰击下分解，释放气体和其他物质，污染电镜；
3、导电性好，导电性差的样品会发生荷电效应，造成图像畸变，亮点亮线，像散等；
4、不含强磁性，强磁性的样品观察一般会出现严重的像散，无法消去，磁性粉末如果粘的不牢固还可能会吸附到探头上，损害电镜；
5、试样(表面)导电的固体，试样可以是块状或粉未状。不导电的试样，要***行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜；
扫描电镜之电子探针的试样要求
扫描电镜之电子探针的试样要求
试样尺寸 扫描电镜
所分析的试样应为块状或颗粒状，其尺寸要根据不同仪器的试样架大小而定。定量分析的试样要均质，厚度通常应大于5μm。例如对JCXA-733 电子探针仪，试样尺寸为Φ32mm×25mm。EPMA-8705 电子探仪所允许的试样尺寸为102mm×20mm。由于电子探针是微区分析，分析区域是几个立方微米，电子束扫描分析和图像观察区域与放大倍数有关，但也不会超过5mm。所以均匀试样没有必要做得很大，有代表性即可。
如果试样均匀，在可能的条件下，透射电镜测试价格，试样应尽量小，特别对分析不导电试样时，小试样能改善导电性和导热性能。
扫描电镜对样品的要求
样品制备方法
1、块样
对于金属、岩矿或无机物，切割成要求的尺寸，粘在样品台上。如果样品数量多，注意样品尺寸一致。
微区成份分析样品表面应该平台或经研磨抛光，可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面，要选择起伏不大的部位，是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。
非导电或导电性较差的材料，要***行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累，影响图像质量，透射电镜测试哪家好，并可防止试样的热损伤。
2、粉样
（1）微米级粉料：将粉样撒在样品台的双面胶上，用手指轻弹样品台四周，粉料会均匀地向四周移动，铺平一层，潮州透射电镜测试，侧置样品台，把多余粉料抖掉；用纸边轻刮、轻压粉料面，使粉料与胶面贴实；用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程，粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。
（2）对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析：利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上 。
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