高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

　高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　　之所以要用真空，电镜分析机构，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，电镜分析中心，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。

电镜在功能材料中的应用

电镜在功能材料中的应用扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜与光学显微镜之间的一种观察手段。它是运用聚焦十分窄的高能电子束来扫描样品，通过光束合物质间的相互作用，电镜分析哪家好，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大还有再成像为了达到对物质微观形貌表征的目的。如何简单快速地得到样品形貌信息，滨州电镜分析，对功能材料的研发具有十分重要的意义。台式电镜具有以下优点：1.占地空间小，不需要配备太多额外设备，对放置楼层也无太多要求2.操作简单，也无需操作人员，学生也可快速上手操作3.速度快，15秒抽真空，30秒成像，短时间可以完成大量样品测试

台式扫描电镜的性能与基本结构

台式扫描电镜的特点：

　　制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，能够直接放入样品室进行分析，对于导电性差或者绝缘的样品那么就需要喷镀导电层。

　　台式扫描电镜的基本结构：

　　从结构上来看，台式扫描电镜主要是由七大系统组合而成的，也就是电子光学系统、信号探测处理与显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统以及电源供给系统。

　　此中重要的三个系统是电子光学系统、信号探测处理还有显示系统以及真空系统

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