因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内完全无油，因此螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有的***性，可较好地替代旋片式真空泵、滑阀式真空泵使用。

螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。

无油螺杆节能真空泵

与现有技术相比，本适用新型具有以下优点：

1、螺杆转子与螺杆转子之间以及螺杆转子与壳体之间的间隙沿进气端到排气端的方向依次减小，使螺杆转子稳定工作后有足够的收缩空间，防止螺杆转子卡壳，无油螺杆节能真空泵电话，而且收缩后它们的间隙更小，气体的走漏量更少，抽真空效果更好。

2、螺杆转子采用螺纹小径均相同，螺纹大径沿进气端到排气端方向依次减小的设计，既降低了螺杆转子的加工难度，降低了消费本钱，而且在稳定工作时，螺杆转子之间的间隙更小更平均，减少了气体走漏。

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干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵，无油螺杆节能真空泵质量优，在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵。干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，佛山无油螺杆节能真空泵，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。无油螺杆节能真空泵干式螺杆真空泵由于其***的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业真空获得设备。日本是应用螺杆真空泵非常多的国家，半导体和LCD 行业应用广泛，大晃株式会社的吉村将士等很早就在单头等螺杆转子方面申请了，在转子上做了深入的研究，日立公司早期也做过螺杆泵方面的研究。

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