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扫描电镜和透射电镜的区别

扫描电镜和透射电镜的区别

扫描电镜和透射电镜的工作原理

从相似点开始, 这两种设备都使用电子来获取样品的图像。他们的主要组成部分是相同的;

· 电子源;

· 电磁和静电透镜控制电子束的形状和轨迹;

现在转向这两种设备的差异性。 扫描电镜(SEM)使用一组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子( 详细了解SEM中检测到的不同类型的电子 )。

而透射电镜(TEM)是使用透射电子,收集透过样品的电子。 因此,扫描电镜测试中心,透射电镜(TEM)提供了样品的内部结构,如晶体结构,形态和应力状态信息,而扫描电镜(SEM)则提供了样品表面及其组成的信息。


扫描电子显微镜观测电畴

扫描电镜的优点:

  ①有较高的放大倍数,2-20万倍之间连续可调;

  ②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;

  ③试样制备简单。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,淄博扫描电镜测试,这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。

  扫描电子显微镜观测电畴是通过对样品表面预***行化学腐蚀来实现的,由于不同极性的畴被腐蚀的程度不一样,利用腐蚀剂可在铁电体表面形成凹凸不平的区域从而可在显微镜中进行观察。因此,可以将样品表面预***行化学腐蚀后,利用扫描电子显微镜图像中的黑白衬度来判断不同取向的电畴结构。对不同的铁电晶体选择合适的腐蚀剂种类、浓度、腐蚀时间和温度都能显示良好的畴图样。


需要熟悉的扫描电镜基本操作

基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易,改变焦距,直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度,在合焦点附近调低灵敏度,以便进行准确对焦。

基本操作中消像散相对来说比较麻烦,特别是像散很大时,对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生,扫描电镜测试费用,电子束由于不再是圆形,所以在像散未消除的情况下,图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置,即光学中的子午和弧矢,扫描电镜测试哪家好,在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。

有关拉伸方向的判断并不困难,试样中的各种特征点都可以作为判断依据,尤其在像散比较大时,不要焦距和像散的两个维度乱调一气,以免像散过大而完全无从判断。


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