扫描电镜的优点：

　　①有较高的放大倍数，2-20万倍之间连续可调；

　　②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；

　　③试样制备简单。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。

　　扫描电子显微镜观测电畴是通过对样品表面预***行化学腐蚀来实现的，由于不同极性的畴被腐蚀的程度不一样，利用腐蚀剂可在铁电体表面形成凹凸不平的区域从而可在显微镜中进行观察。因此，可以将样品表面预***行化学腐蚀后，利用扫描电子显微镜图像中的黑白衬度来判断不同取向的电畴结构。对不同的铁电晶体选择合适的腐蚀剂种类、浓度、腐蚀时间和温度都能显示良好的畴图样。

金相显微镜与扫描电子显微镜的区别

一点，屏幕分辨率：金相显微镜因为光的干涉和透射功效，屏幕分辨率仅有限于0.2-0.5um中间。扫描电子显微镜因为采用离子束做为光源，它的屏幕分辨率可以做到1-3nm中间，因为金相显微镜的机构观查归属于μm级剖析，扫描电子显微镜的机构观察归属于纳米剖析。

　　其次第二点，景深：通常金相显微镜的景深在2-3um中间，因为对试品的表面光洁水平具有十分高的规定，所以制样全过程相对性十分繁杂。扫描电子显微镜的景深则能够达到好多个。

　　金相显微镜（metallurgical microscope）是用出射照明灯具来观察金属材料试件表面（合金成分）的光学显微镜，它是把显微镜技术性、光电转换技术性、电子计算机图象处理技术性地融合在一起从而开发设计研发成的新科技产品，可以在电子计算机上很便捷地观查金相分析图象，进而对金相分析图普开展剖析，定级等还有对图片开展輸出以及复印。

扫描电镜之电子探针的试样要求

试样尺寸 扫描电镜

所分析的试样应为块状或颗粒状，其尺寸要根据不同仪器的试样架大小而定。定量分析的试样要均质，厚度通常应大于5μm。例如对JCXA-733 电子探针仪，试样尺寸为Φ32mm×25mm。EPMA-8705 电子探仪所允许的试样尺寸为102mm×20mm。由于电子探针是微区分析，分析区域是几个立方微米，电子束扫描分析和图像观察区域与放大倍数有关，但也不会超过5mm。所以均匀试样没有必要做得很大，有代表性即可。

如果试样均匀，天津不导电样品电镜测试，在可能的条件下，试样应尽量小，特别对分析不导电试样时，小试样能改善导电性和导热性能。

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