扫描电子显微镜的原理介绍: 扫描电子显微镜是一种利用高能聚焦电子束扫描样品表面,从而获得样品信息的电子显微镜。因此其使用电子束为照明源,三维重构费用,电子束在样品表面扫描,三维重构中心,利用电子还有物质作用所产生的信息结合电子光学原理进行成像。判断扫描电镜性能主要根据分辨率还有有效放大倍数。分辨率也就是可以分辨的小距离。扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜与光学显微镜之间的一种观察手段。它是运用聚焦十分窄的高能电子束来扫描样品,通过光束合物质间的相互作用,迪庆三维重构,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大还有再成像为了达到对物质微观形貌表征的目的。
扫描电子显微镜的结构:
扫描电子显微镜的结构:
扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的:真空系统,电子束系统还有成像系统。
1.真空系统,主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵则用来在真空柱内产生真空。
2.电子束系统,电子束系统主要是由电子以及电磁透镜这两部分组合而成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子用于产生电子,主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。
3.成像系统,电子通过一系列电磁透镜成束之后,三维重构价格,打到样品上和样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。
高分辨率台式扫描电镜易于掌握
高分辨率台式扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性,利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像方式,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而,可以获得更高的分辨率,是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。
高分辨率台式扫描电镜具备与大型扫描电镜同等的分辨率。该设备实现了大电镜的小型化处理,放大倍率高达10万倍;装载易于使用的可变光阑,可达到5nm图像分辨率,是高分辨率台式扫描电镜中分辨率高的设备;作为一款5轴载台,能同时运用鼠标控制与快捷键移动样品进行分析;可通过多种扫描模式与测试工具获得多种分析结果,广泛应用于材料科学、生命科学、教育、鉴定、工业、电子、环境、能源等领域。
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