扫描电子显微镜的原理

扫描电子显微镜(SEM)是介于透射电镜还有光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，能够直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。主要使用于各种材料的微观分析还有成分分析，已经成为材料科学、生命科学以及各生产部门品质控制中不可或缺的工具之一。

　　扫描电子显微镜的结构包含电子光学系统、图像显示与记录系统、真空系统还有X射线能谱分析系统。

扫描电子显微镜的工作原理

　　从电子阴极发出的直径20μm～30μm的电子束，受到阴阳极之间加速电压的作用，射向镜筒，经过聚光镜以及物镜的会聚作用，缩小成直径约几毫微米的电子探针。在物镜上部的扫描线圈的作用下，电子探针在样品表面作光栅状扫描而且激发出多种电子信号。这些电子信号被相应的检测器检测，通过放大、转换，变成电压信号，之后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描，并且这种扫描运动与样品表面的电子束的扫描运动严格同步，这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电子像，这种图象反映了样品表面的形貌特征。第二节扫描电镜生物样品制备技术大多数生物样品都含有水分，而且比较柔软，天津金属样品电镜测试，所以，当我们在进行扫描电镜观察之前，一定要对样品作相应的处理。扫描电镜样品制备的主要步骤：尽可能让样品的表面结构储存好，没有变形还有污染，样品干燥并且有优良导电性能。

扫描电镜的结构

扫描电镜是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，利用半导体制冷，无需额外冷却系统，是一款具有处理所有类型材料能力的分析仪器，可以提供成像质量，配备X射线能谱仪接口，并有X射线几何设计，可对所有样品进行分析，对于非导体采用电子束衬管技术也提高了图像质量和分析精度。

　　扫描电镜***的X射线几何结构以及标配能谱仪和波谱仪，可变电压功能用于分析较少制备的非接触式样品，可移动的显微镜样品台用于观察大型样品，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的结构包括电子光学系统、图像显示和记录系统、真空系统、X射线能谱分析系统。

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