扫描电镜的结构

扫描电镜是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，利用半导体制冷，无需额外冷却系统，是一款具有处理所有类型材料能力的分析仪器，可以提供成像质量，配备X射线能谱仪接口，并有X射线几何设计，可对所有样品进行分析，对于非导体采用电子束衬管技术也提高了图像质量和分析精度。

　　扫描电镜***的X射线几何结构以及标配能谱仪和波谱仪，可变电压功能用于分析较少制备的非接触式样品，可移动的显微镜样品台用于观察大型样品，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的结构包括电子光学系统、图像显示和记录系统、真空系统、X射线能谱分析系统。

高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

　高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。

台式扫描电镜符合工艺要求

台式扫描电镜基于新一代高亮度灯丝和全新的聚焦系统，分辨率轻松达到10 nm，同时具有全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点。传统电镜往往通过提高加速电压来产生更高的信号，同时由于穿透深度较深，导致表面细节缺失。低加速电压电子穿透深度浅，避免样品被破坏，展现更多表面细节；探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息。

台式扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑，天津生物样品电镜分析，亮度10倍于钨灯丝的灯丝，不仅成为*分辨率的台式扫描电镜，同时也使X射线能谱仪提供更加准确、快速的元素分析。台式扫描电镜的背散射图像，首先从视觉上用不同的灰度呈现不同的元素，进一步利用SDDX射线探测器，就能轻松确认不同灰度区域元素的名称和含量，提供5-95号元素的点扫描，线扫描和面扫描三种分析模式。

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