高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器
高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统,是一种大型精密仪器,它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵用来在真空柱内产生真空,有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求,需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中,真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。
之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子的SEM上,电磁透镜*。
全自动扫描电镜位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象,这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以可以用于纳米级样品的三维成像,天津不导电样品电镜测试,工作距离指从物镜到样品高点的垂直距 离,如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深,如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。全自动扫描电镜电子和背散射电子可以用于成象,但后者不如前者,所 以通常使用次级电子。
由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层,所以只能用于表面分析。表面分析以特征X射线分析常用,所用到的探测器有两种:能谱分析仪与波谱分析仪,前者速度快但精度不高,后者非常,可以检测到“痕 迹元素”的存在但耗时太长。全自动扫描电镜的组成结构,了解其组成结构有利于我们更加合理的使用扫描电镜,从而延长扫描电镜的使用寿命及提高操作
扫描电镜的功能 桌面扫描电镜除了全自动功能以外,还提供给更加的用户所有手动调节功能,几乎具备大型机所有的调节功能,从而获得更加的图像品质。桌面扫描电镜在充分了解用户的使用需求基础上,集成了当前市场上所有小型台式机的***性,克服用户感到烦恼的缺点,使得扫描电镜是人机操作工程的产品。 桌面扫描电镜具备样品表面微观形貌观测和表面元素成分点、线、面分析,将电镜和能谱在生产环节集成在一台设备中,后期通过一个软件平台控制操作,用户只需要熟悉一个软件就能同时操控两项功能,也变得相对简单快速。桌面扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑,电镜能谱一体机提供*zui高的台式扫描电镜分辨率,同时也使得表面元素分析更加准确快速。 桌面扫描电镜具有系列全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点,无需防震环境,可放置在任意楼层,能谱无外接部件,无需液氮冷却。
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