扫描电子显微镜的基本结构

扫描电子显微镜的基本结构：

　　扫描电子显微镜是运用材料表面微区的特征（如形貌、原子序数、化学成分或者晶体结构等）的差异，在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异，从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或者吸收电子，此中二次电子是主要的成像信号。高能电子束轰击样品表面，云浮原位气相，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的接受物理信号转换成图像信息。

　　扫描电子显微镜除了可以测试二次电子图像之外，还可以测试背散射电子、透射电子、特征x射线以及阴极发光等信号图像。它的成像原理和二次电子像一样。在进行扫描电子显微镜观察之前，要对样品作相应的处理。

台式扫描电镜符合工艺要求

台式扫描电镜符合工艺要求

台式扫描电镜基于新一代高亮度灯丝和全新的聚焦系统，分辨率轻松达到10 nm，同时具有全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点。传统电镜往往通过提高加速电压来产生更高的信号，同时由于穿透深度较深，导致表面细节缺失。低加速电压电子穿透深度浅，避免样品被破坏，展现更多表面细节；探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息。

台式扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑，亮度10倍于钨灯丝的灯丝，原位气相中心，不仅成为*分辨率的台式扫描电镜，同时也使X射线能谱仪提供更加准确、快速的元素分析。台式扫描电镜的背散射图像，原位气相机构，首先从视觉上用不同的灰度呈现不同的元素，进一步利用SDDX射线探测器，就能轻松确认不同灰度区域元素的名称和含量，提供5-95号元素的点扫描，线扫描和面扫描三种分析模式。

扫描电镜之电子探针的试样要求

试样尺寸 扫描电镜

所分析的试样应为块状或颗粒状，其尺寸要根据不同仪器的试样架大小而定。定量分析的试样要均质，厚度通常应大于5μm。例如对JCXA-733 电子探针仪，试样尺寸为Φ32mm×25mm。EPMA-8705 电子探仪所允许的试样尺寸为102mm×20mm。由于电子探针是微区分析，分析区域是几个立方微米，电子束扫描分析和图像观察区域与放大倍数有关，但也不会超过5mm。所以均匀试样没有必要做得很大，有代表性即可。

如果试样均匀，原位气相费用，在可能的条件下，试样应尽量小，特别对分析不导电试样时，小试样能改善导电性和导热性能。

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