扫描电镜之电子探针显微分析

显微结构分析

电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。

简述什么是扫描电子显微镜

扫描电子显微镜（SEM）其实就是一种介于光学显微镜与透射电子显微镜之间的一种观察手法。它运用聚焦的极窄的高能电子束来扫描样品，经过物资和光束间的互相作用，来激起种种物理信息，对这些信息、缩小、再成像是为了达到对物资微观形貌表征的目的。新款的扫描电子显微镜的分辨率能够达到一纳米；缩小倍数能够达到三十万倍及以上不间断进行调节；而且视线大，景深大，成像立体效果佳。除此之外，扫描电子显微镜以及其余分析仪器相互结合，能够做到观察微观形貌的同一时间进行物质微区成份分析。扫描电子显微镜在石墨、岩土、纳米材料以及陶瓷等的研发上有普遍使用。所以扫描电子显微镜在科学研究行业拥有极大的功用。

扫描电镜的应用首先，扫描电镜应用是不是经常性的并且需求明确的？假如是这样，台式扫描电镜可以提供所需要的信息，为什么要花费更多？对于未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧，应该依据潜在需求的确定性以及时机，还有对更高要求使用的外部资源可用性来进行评估。 　　就算以后需求超过台式扫描电镜能力，台式扫描电镜的初始投资也能够继续提供回报，天津不导电样品电镜分析，由于这种系统可以使用于补充以后的落地式扫描电镜系统，比方说筛选样品或者接着执行日常分析，落地式扫描电镜使用于要求非常高的应用。 　　建立大型分析测试中心的时候，扫描电镜能够起到承上启下的功用，前期可以满足大多数的测试需求，后面能够从外部应用者对于更性能需求以及成本进行基于经验的评估，有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。

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