扫描电子显微镜的应用

扫描电子显微镜的应用

　扫描电子显微镜广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。

　　显微镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，三维重构中心，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

　　其工作原理为：在高真空的镜筒中，由电子产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后，在样品表面逐点进行扫描轰击，产生一系列电子信息（二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等），天津三维重构，由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。

台式扫描电镜符合工艺要求

台式扫描电镜符合工艺要求

台式扫描电镜基于新一代高亮度灯丝和全新的聚焦系统，分辨率轻松达到10 nm，同时具有全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点。传统电镜往往通过提高加速电压来产生更高的信号，同时由于穿透深度较深，导致表面细节缺失。低加速电压电子穿透深度浅，避免样品被破坏，德州三维重构，展现更多表面细节；探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息。

台式扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑，亮度10倍于钨灯丝的灯丝，不仅成为*分辨率的台式扫描电镜，同时也使X射线能谱仪提供更加准确、快速的元素分析。台式扫描电镜的背散射图像，首先从视觉上用不同的灰度呈现不同的元素，进一步利用SDDX射线探测器，就能轻松确认不同灰度区域元素的名称和含量，提供5-95号元素的点扫描，线扫描和面扫描三种分析模式。

需要熟悉的扫描电镜基本操作

基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易，改变焦距，直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度，在合焦点附近调低灵敏度，以便进行准确对焦。

基本操作中消像散相对来说比较麻烦，特别是像散很大时，对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生，电子束由于不再是圆形，三维重构价格，所以在像散未消除的情况下，图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置，即光学中的子午和弧矢，在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。

有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。

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