光氧催化废气处理设备工作原理，利用高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链在高能紫外线光束照射下与臭氧进行反应生成低分子化合物，如CO2、H2O等。而且投资费用低、适用范围广、净化、操作简单、除臭效果好、设备运行稳定、占地小、运行费用低、随用随开、不会造成二次污染。

利用高能高臭氧UV紫外线光束进行分解空气中的氧分子，所产生游离氧即是活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，众所周知臭氧对于有机物是具有极强的氧化作用，而且对工业废气及其它刺激性异味也有的清除效果。工业排出的废气利用排风设备进行输入到本净化设备之后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物，水和二氧化碳然后通过排风管道排出室外。